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      高性能硅電容壓力傳感器通過驗收
      發(fā)布時間:2011-08-25 來源:中國能源報

      國機集團所屬沈陽儀表院承擔的沈陽市高新技術產(chǎn)業(yè)發(fā)展計劃項目“高性能硅電容壓力傳感器”近日順利通過驗收。

      該項目采用先進的微電子和微機械加工相結合的工藝技術,在硅電容傳感器設計、制造工藝技術、傳感器封裝結構等方面具有創(chuàng)新性,解決了硅電容傳感器研制的工藝技術難題,開發(fā)研制出完全擁有自主知識產(chǎn)權的新型高性能硅電容差壓傳感器產(chǎn)品,產(chǎn)品精度優(yōu)于0.075%FS,技術水平達到國內(nèi)領先、國際一流。(宗瑞)

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